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Características de películas de SiOF obtenidas por APCVD con HF como fuente de flúor

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	M. Pacio
Format:	Artículo científico
Sprache:	es
Veröffentlicht:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2010
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas TEOS SIMS Sistema APCVD Películas de SiOF Espectroscopia FTIR
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