Depósito de películas delgadas de SiO2 obtenidas por foto-CVD

Fuente: Redalyc

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	J.E. Munguia
Format:	Artículo científico
Langue:	es
Publié:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2003
Sujets:	Física, Astronomía y Matemáticas
Accès en ligne:	Acceder al recurso
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