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Depósito de películas delgadas de SiO2 obtenidas por foto-CVD

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	J.E. Munguia
Format:	Artículo científico
Sprache:	es
Veröffentlicht:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2003
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas
Online-Zugang:	Acceder al recurso
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