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|---|---|
| Format: | Artículo científico |
| Language: | es |
| Published: |
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
2004
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94217107 |
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Table of Contents:
- Propiedades estructurales de la solución ternaria InGaP crecida sobre GaAs por el método de epitaxia de la fase líquida P. Díaz Arencibia A. Mintairov T. Kosel R. E. Cook F. Silva Andrade T. Prutskij Física, Astronomía y Matemáticas Soluciones sólidas III Epitaxia de fase líquida Microscopía electrónica de transmisión En el presente trabajo se estudian las características estructurales de películas de InGaP acopladas reticularmente a substratos GaAs. Las películas fueron crecidas por el método epitaxial de la fase líquida (LPE por sus siglas en inglés) utilizando un bote de grafito de corredera en un reactor epitaxial horizontal. La morfología de la superficie de las películas obtenidas ha sido estudiada por microscopía óptica y microscopía de fuerza atómica. Se ha observado que la superficie de las mismas es bastante lisa con la aparición esporádica de defectos en forma de pirámides. Los espesores de las películas se han determinado por medio de elipsometría, la cual arrojó valores del orden de 1µm. Colateralmente, este método nos permitió encontrar el índice de refracción de la película para la longitud de onda del láser de He-Ne. La estructura de las películas fue estudiada por dispersión de rayos X de alta resolución, microscopía electrónica de trasmisión (TEM), así como por espectroscopía de dispersión de energía de rayos X (EDXS). Los estudios empleando TEM han establecido que las películas obtenidas presentan modulación espacial de la composición química de la aleación en las direcciones cristalinas [001] y [010] con un periodo del orden de 0.2 µm. Las discrepancias de los resultados de los análisis de la composición química de las películas obtenidos por rayos X de alta resolución y EDXS son atribuidos a las diferentes áreas del haz de prueba en uno y otro experimento. Se ha encontrado que la composición de las películas obtenidas está dentro de los rangos permisibles de la variación del desacople reticular película /substrato. 2004 artículo científico 1665-3521 https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94217107 es http://www.redalyc.org/revista.oa?id=942 Superficies y vacío application/pdf Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. Superficies y vacío (México) Num.1 Vol.17