Caracterización de substratos de silicio de alta y baja resistividad mediante la estructura Al/SRO/Si y comparación con técnicas utilizando estructuras MOS

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Bibliographic Details
Main Author:	O. Malik
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2004
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas MOS SiO2 Lifetime V characteristics High and low frequency C
Online Access:	Acceder al recurso
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