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Caracterización de substratos de silicio de alta y baja resistividad mediante la estructura Al/SRO/Si y comparación con técnicas utilizando estructuras MOS

Fuente: Redalyc

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	O. Malik
Format:	Artículo científico
Langue:	es
Publié:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2004
Sujets:	Física, Astronomía y Matemáticas MOS SiO2 Lifetime V characteristics High and low frequency C
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