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DC sputtered Tin oxide films. Plasma parameters, composition and structure

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	F. Caballero
Format:	Artículo científico
Sprache:	en
Veröffentlicht:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2004
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas Tin oxide Thin films ray diffraction Reactive sputtering
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