Fabricación de guías de onda ópticas en silicio utilizando óxido de silicio y nitruro de silicio

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Bibliographic Details
Main Author:	Rosa Chávez Velázquez
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2005
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas PECVD Óptica integrada Comunicaciones ópticas Guías ópticas integradas
Online Access:	Acceder al recurso
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