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Fabricación de guías de onda ópticas en silicio utilizando óxido de silicio y nitruro de silicio

Fuente: Redalyc

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Rosa Chávez Velázquez
Natura:	Artículo científico
Lingua:	es
Pubblicazione:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2005
Soggetti:	Física, Astronomía y Matemáticas PECVD Óptica integrada Comunicaciones ópticas Guías ópticas integradas
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