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Design of capacitive MEMS transverse-comb accelerometers with test hardware

Fuente: Redalyc

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	F. J. Ibarra-Villegas
Formato:	Artículo científico
Lenguaje:	en
Publicado:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2013
Materias:	Física, Astronomía y Matemáticas Micro capacitive accelerometer transverse comb electromechanical systems (MEMS)
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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