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Bibliographic Details
Main Author: R. Sánchez-Fraga
Format: Artículo científico
Language:es
Published: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2014
Subjects:
Física, Astronomía y Matemáticas
MEMS
Sensor es
Cantilever
Micro electrónicos
Actuador electro estático
Online Access:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94231511005
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https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=94231511005

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