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Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio

Fuente: Redalyc

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Bibliographic Details
Main Author:	R. Sánchez-Fraga
Format:	Artículo científico
Language:	es
Published:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2014
Subjects:	Física, Astronomía y Matemáticas MEMS Sensor es Cantilever Micro electrónicos Actuador electro estático
Online Access:	Acceder al recurso
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