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Analysis of MEMS structures to identify their frequency response oriented to acoustic applications

Fuente: Redalyc

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	F. J. Ibarra-Villegas
Format:	Artículo científico
Sprache:	en
Veröffentlicht:	Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2015
Schlagworte:	Física, Astronomía y Matemáticas MEMS Cochlea Acoustics Natural frequency Frequency response
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