Effects of hydrogen dilution and B-doping on the density of Si–C bonds and properties of a-SixC1-x:H films

Fuente: Redalyc
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Auteur principal: J. Herrera-Celis
Format: Artículo científico
Langue:en
Publié: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. 2016
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