Optimal susceptor rotation speed in hot‐wall horizontal SiC epitaxy using computational fluid dynamics

Fuente: Wiley Open Access

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Auteurs principaux:	Huong Mai Thi Kieu, Son Ich Ngo, Young‐Il Lim, Bum Ho Choi
Format:	Artículo Open Access
Publié:	Wiley 2025
Sujets:	The Canadian Journal of Chemical Engineering
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