Fluorine Modification Strategy for Switching Lithographic Polarity of Sb 2 −Oxo Clusters: Conversion of Negative‐Tone to Positive‐Tone Patterns †

Fuente: Wiley Open Access
Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Autori principali: Si‐Ming Qi, Zuo‐Hu Zhou, Fang‐Fang Liu, Ze‐Qi Yu, Jian Wei, Ai‐Bing Yang, Hui‐Fang Zhao, Ni Zhen, Lei Zhang
Natura: Artículo Open Access
Pubblicazione: Wiley 2025
Soggetti:
Accesso online:
Tags: Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!