Development of High Fracture Toughness MEMS Microphone Using Pd‐Based Metallic Glass Membrane

Fuente: Wiley Open Access
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Autori principali: Naokatsu Ikegami, Kentarou Shiraishi, Hiroshi Takahashi, Takahide Usui, You Kubota, Ichiro Kashiwagi
Natura: Artículo Open Access
Pubblicazione: Wiley 2026
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