Development of High Fracture Toughness MEMS Microphone Using Pd‐Based Metallic Glass Membrane
Fuente:
Wiley Open Access
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| Formato: | Artículo Open Access |
| Publicado: |
Wiley
2026
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | |
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| DOI: | 10.1002/ecj.70031 |
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