Normally‐Off Top‐Gate Self‐Aligned Field‐Effect Transistor Including Crystal InOx Formed by Hydrogen Gas‐Free Sputtering With Channel Length of 3 μm and High Field‐Effect Mobility Over 75 cm 2 /Vs Fabricated through 400°C Process

Fuente: Wiley Open Access
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Yukinori Shima, Daisuke Kurosaki, Masami Jincho, Mitsuo Mashiyama, Masahiro Watanabe, Kayo Kumakura, Seiji Yasumoto, Masayoshi Dobashi, Junichi Koezuka, Motoharu Saito, Koji Kusunoki, Shunpei Yamazaki
Format: Artículo Open Access
Veröffentlicht: Wiley 2026
Schlagworte:
Online-Zugang:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Ähnliche Einträge