Multiscale Simulation of Capacitively Coupled Ar/CHF 3 Discharges Driven by Sawtooth‐Tailored Voltage Waveforms

Fuente: Wiley Open Access

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux:	Wan Dong, Liu‐Qin Song, Yi‐Fan Zhang, Li Wang, Yuan‐Hong Song, Julian Schulze
Format:	Artículo Open Access
Publié:	Wiley 2025
Sujets:	Plasma Processes and Polymers
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