Discharge Characteristics and α–γ Mode Transition Law of CO 2 Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma at Different Gap Distances

Fuente: Wiley Open Access
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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Zifan Ye, Qiang Fu, Luyao Liu, Tinglu Wei, Jialun Luo, Honglin Guo, Zhengshi Chang
Formato: Artículo Open Access
Publicado: Wiley 2025
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