Evidence of Nitrogen Atom Production in Surface Dielectric Barrier Discharge to Support Thin Film Deposition at Atmospheric Pressure

Fuente: Wiley Open Access
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Hauptverfasser: Tian Tian, Sylvain Iséni, Hervé Rabat, David Muñoz‐Rojas, Dunpin Hong
Format: Artículo Open Access
Veröffentlicht: Wiley 2025
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