P‐265: Tailoring SS of a‐IGZO TFT through Defect Formation Mechanism during PEALD Deposition Sequences
Fuente:
Wiley Open Access
Salvato in:
| Autori principali: | , , , |
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| Natura: | Artículo Open Access |
| Pubblicazione: |
Wiley
2024
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | |
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