P‐265: Tailoring SS of a‐IGZO TFT through Defect Formation Mechanism during PEALD Deposition Sequences

Fuente: Wiley Open Access
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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Seong Hun Yoon, Jae Seok Hur, Seon Woong Bang, Jae Kyeong Jeong
Formato: Artículo Open Access
Publicado: Wiley 2024
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