18‐2: Efficient Methodology for Increasing Atomic Layer Deposition Throughput by Optimizing Deposition Rate of SiO2 Film

Fuente: Wiley Open Access
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Autori principali: Tao Wang, Tao Sun, Xingxing Yu, Jaeyoung Lee, Ran Li, Zheng Liu, Chenghao Liao, Weifeng Zhou
Natura: Artículo Open Access
Pubblicazione: Wiley 2025
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