P‐1.13: The effects of post‐annealing and pre‐annealing treatments on PEALD deposited IGZO top gate TFT

Fuente: Wiley Open Access
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Shuaiying Zheng, Yuxiang Li
Format: Artículo Open Access
Veröffentlicht: Wiley 2025
Schlagworte:
Online-Zugang:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!