Experimental determination of reference intensity ratio essential for accurate thickness measurement of HfO 2 ultrathin films by XPS

Fuente: Wiley Open Access

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Lulu Zhang, Yasushi Azuma, Akira Kurokawa, Hiroyuki Matsuzaki
Formato:	Artículo Open Access
Publicado:	Wiley 2024
Materias:	Surface and Interface Analysis
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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