Experimental determination of reference intensity ratio essential for accurate thickness measurement of HfO 2 ultrathin films by XPS
Fuente:
Wiley Open Access
Salvato in:
| Autori principali: | , , , |
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| Natura: | Artículo Open Access |
| Pubblicazione: |
Wiley
2024
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| Soggetti: | |
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| DOI: | 10.1002/sia.7293 |
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