Influence of aluminum addition on structure, hardness, and oxidation resistance of Ta 1−x Al x N thin films

Fuente: Wiley Open Access

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Jonh Yago Erikson Santos, Iago Lemos Dias, Ronaldo Lima Rezende, Givanilson Brito de Oliveira, Pedro Cardoso da Silva Neto, Fabiana Magalhães Teixeira Mendes, Roberto Hübler, Eduardo Kirinus Tentardini
Format:	Artículo Open Access
Veröffentlicht:	Wiley 2024
Schlagworte:	Surface and Interface Analysis
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