Plasma‐Based Additive Manufacturing Method for MEMS Using APSLD (Atmospheric Pressure Sputtering Layer Deposition) Technology†

Fuente: Wiley Open Access

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	J. Bickel, Roland Gesche, Joachim Scherer, Reinhold Kovacs, Xiaodong Hu, Ha Duong Ngo
Format:	Artículo Open Access
Veröffentlicht:	Wiley 2024
Schlagworte:	IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
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