Plasma‐Based Additive Manufacturing Method for MEMS Using APSLD (Atmospheric Pressure Sputtering Layer Deposition) Technology†

Fuente: Wiley Open Access

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	J. Bickel, Roland Gesche, Joachim Scherer, Reinhold Kovacs, Xiaodong Hu, Ha Duong Ngo
Formato:	Artículo Open Access
Publicado:	Wiley 2024
Materias:	IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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