Spin coating high‐ k multicomponent (Al,Ti,V,Zr,Hf)O x films with sub‐nm EOT for MOS‐based electronic devices
Fuente:
Wiley Open Access
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| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Artículo Open Access |
| Veröffentlicht: |
Wiley
2024
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