USING NICKEL NANOCOMPOSITE AS A STRUCTURAL MATERIAL FOR MEMS RESONATOR FABRICATION

Fuente: Zenodo
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kwok-Siong Teh, Yu-Ting Cheng, Liwei Lin
Format: Recurso digital
Veröffentlicht: Zenodo 2003
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