Chen, I. I., Solgaard, J., Sekine, R., Hossain, A. A., Ardizzi, A., Catherall, D. S., . . . Minnich, A. J. (2023). Isotropic atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using sequential exposures of H$_2$ and SF$_6$ plasmas.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Chen, Ivy I., et al. Isotropic Atomic Layer Etching of MgO-doped Lithium Niobate Using Sequential Exposures of H$_2$ and SF$_6$ Plasmas. 2023.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Chen, Ivy I., et al. Isotropic Atomic Layer Etching of MgO-doped Lithium Niobate Using Sequential Exposures of H$_2$ and SF$_6$ Plasmas. 2023.
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