Sun, J., Shu, S., Chai, Y., Zhu, L., Zhang, L., Li, Y., . . . Liu, C. (2024). Cryogenic microwave performance of silicon nitride and amorphous silicon deposited using low-temperature ICPCVD.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Sun, Jiamin, et al. Cryogenic Microwave Performance of Silicon Nitride and Amorphous Silicon Deposited Using Low-temperature ICPCVD. 2024.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Sun, Jiamin, et al. Cryogenic Microwave Performance of Silicon Nitride and Amorphous Silicon Deposited Using Low-temperature ICPCVD. 2024.
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