The effect of surface quenching coefficients of $O_2(a^{1}Δg)$ and $O_2(b^{1}Σg^{+})$ on capacitively coupled $Ar$/$O_2$ discharge: A global/equivalent circuit model study

Fuente: arXiv
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Hauptverfasser: Dong, Wan, Wang, Yi, Zhang, Yi-Fan, Song, Yuan-Hong
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2026
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