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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Artículo científico |
| Language: | es |
| Published: |
Sociedad Mexicana de Física A.C.
2016
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57048164016 |
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Table of Contents:
- Caracterización de capacitores MOS basados en peliculas de oxido de hafnio obtenidas a 150°C S. Cerón J. Hernandez M.A. Dominguez Física, Astronomía y Matemáticas capacitor MOS Óxido de hafnio caracterización eléctrica En este trabajo, se describe la fabricaci ́ on y caracterizaci ́ on de capacitores MOS con ́ oxido de hafnio como diel ́ ectrico obtenido a 150 ± C. La obtenci ́ on de pel ́ ıculas delgadas de ́ oxido de hafnio se realiz ́ o mediante spin-coating con un tratamiento t ́ ermico a 150 ± C. Los capacitores MOS fueron caracterizados empleando mediciones de capacitancia vs. voltaje, capacitancia vs. frecuencia y corriente el ́ ectrica vs. voltaje. Los resultados demuestran la viabilidad de la pel ́ ıcula de ́ oxido de hafnio como diel ́ ectrico en dispositivos electr ́ onicos. 2016 artículo científico 0035-001X https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57048164016 es http://www.redalyc.org/revista.oa?id=570 Revista Mexicana de Física application/pdf Sociedad Mexicana de Física A.C. Revista Mexicana de Física (México) Num.6 Vol.62