Álvarez-Macias, C. (2007). Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS. Sociedad Mexicana de Física A.C.
Chicago Style (17th ed.) CitationÁlvarez-Macias, C. Procesos De Grabado Seco De Silicio Monocristalino Con Alta Velocidad De Grabado Y Anisotropía Para Su Aplicación En La Fabricación De MEMS. Sociedad Mexicana de Física A.C, 2007.
MLA (9th ed.) CitationÁlvarez-Macias, C. Procesos De Grabado Seco De Silicio Monocristalino Con Alta Velocidad De Grabado Y Anisotropía Para Su Aplicación En La Fabricación De MEMS. Sociedad Mexicana de Física A.C, 2007.
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